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フラットパネル検査装置
GX3/GX7
製品情報
フラットパネル
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半導体
検査装置
GX3/GX7
OLED/TFT/LTPS対応 完全非接触OS検査装置
業界最高速
超ファインパターン検査が可能です
各世代の大型マザーガラスに対応可能です
リペア装置とのドッキングも可能です
GX3はセンサー側が駆動、GX7はパネル側が駆動となります
パターンへの傷・パーティクル
パターンを傷つけず、パーティクルの発生もありません
信頼性
パターンなどに付着したゴミ等による、誤判定の可能性は極めて小さいです
段取替え
不要(レシピ切替で対応)
検査のタクト
第8世代クラス（TFT-LCD)で約95秒
検査可能ピッチ
最小ピッチ:50um
最小ライン幅:3um
ランニングコスト
不要
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